核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2006年
5期
335-338
,共4页
田修波%杨士勤%Ricky K Y Fu%Paul K Chu
田脩波%楊士勤%Ricky K Y Fu%Paul K Chu
전수파%양사근%Ricky K Y Fu%Paul K Chu
等离子体离子注入%绝缘材料%鞘层%表面充电
等離子體離子註入%絕緣材料%鞘層%錶麵充電
등리자체리자주입%절연재료%초층%표면충전
等离子体浸没离子注入是一种新形式的离子注入技术,是利用负偏压工件周围形成的等离子体鞘层进行离子加速、进而获得离子注入.等离子体注入的前提条件是工件导电,因此对于绝缘材料的等离子体注入可能存在问题.本文从理论和实际处理的角度论证了绝缘材料等离子体注入的可能性、可操作性,并给出了一些实际例证.
等離子體浸沒離子註入是一種新形式的離子註入技術,是利用負偏壓工件週圍形成的等離子體鞘層進行離子加速、進而穫得離子註入.等離子體註入的前提條件是工件導電,因此對于絕緣材料的等離子體註入可能存在問題.本文從理論和實際處理的角度論證瞭絕緣材料等離子體註入的可能性、可操作性,併給齣瞭一些實際例證.
등리자체침몰리자주입시일충신형식적리자주입기술,시이용부편압공건주위형성적등리자체초층진행리자가속、진이획득리자주입.등리자체주입적전제조건시공건도전,인차대우절연재료적등리자체주입가능존재문제.본문종이론화실제처리적각도론증료절연재료등리자체주입적가능성、가조작성,병급출료일사실제예증.
