(Bi,Yb)4Ti3O12铁电薄膜的制备
(Bi,Yb)4Ti3O12철전박막적제비
Preparation of Yb-Doped Bi4Ti3O12 Thin Films
  • 万方数据
    半导体技术 반도체기술
    SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
    2006年 8期 612-613,631 ,共3页

    成传品%唐明华%叶志%钟向丽%郑学军%周益春

    성전품%당명화%협지%종향려%정학군%주익춘

    溶胶-凝胶%BYT铁电薄膜%制备%分析 溶膠-凝膠%BYT鐵電薄膜%製備%分析
    용효-응효%BYT철전박막%제비%분석
    采用稀有金属镱元素对钛酸铋进行掺杂,以期获得性能较好的(Bi,Yb)4Ti3O12铁电薄膜.采用溶胶-凝胶旋涂法在p型Si(100)基底上成功地沉积出(Bi34,Yb06)Ti3O12[BYT]铁电薄膜.用X射线衍射法对其结构及其成份进行了表征,用铁电分析仪(RT66A)测试了其铁电性.并就影响BYT薄膜铁电性能的因素进行了分析.
    채용희유금속의원소대태산필진행참잡,이기획득성능교호적(Bi,Yb)4Ti3O12철전박막.채용용효-응효선도법재p형Si(100)기저상성공지침적출(Bi34,Yb06)Ti3O12[BYT]철전박막.용X사선연사법대기결구급기성빈진행료표정,용철전분석의(RT66A)측시료기철전성.병취영향BYT박막철전성능적인소진행료분석.
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