压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2007年
1期
29-32
,共4页
娄利飞%杨银堂%汪家友%毕发社
婁利飛%楊銀堂%汪傢友%畢髮社
루리비%양은당%왕가우%필발사
微镜%有限元模拟%压电薄膜
微鏡%有限元模擬%壓電薄膜
미경%유한원모의%압전박막
设计了一种采用锆钛酸铅(PZT)压电薄膜悬臂梁作为驱动机理的500 μm×500 μm微镜结构.该微镜主要由4个悬臂梁与1个反射镜组成,4个悬臂梁起支撑微镜的作用,即微镜主要利用微悬臂梁自由端头的小挠度来实现垂直方向的位移.提出了与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺相兼容的制作方法,利用有限元软件ANSYS7.0对压电微镜的反射镜平整度、结构机械强度、线性度、响应速度和功耗等性能进行了研究,并与数值计算结果进行了比较,结果表明此微镜达到了快速、高精度、低功耗的设计要求.
設計瞭一種採用鋯鈦痠鉛(PZT)壓電薄膜懸臂樑作為驅動機理的500 μm×500 μm微鏡結構.該微鏡主要由4箇懸臂樑與1箇反射鏡組成,4箇懸臂樑起支撐微鏡的作用,即微鏡主要利用微懸臂樑自由耑頭的小撓度來實現垂直方嚮的位移.提齣瞭與互補金屬氧化物半導體(CMOS)工藝相兼容的製作方法,利用有限元軟件ANSYS7.0對壓電微鏡的反射鏡平整度、結構機械彊度、線性度、響應速度和功耗等性能進行瞭研究,併與數值計算結果進行瞭比較,結果錶明此微鏡達到瞭快速、高精度、低功耗的設計要求.
설계료일충채용고태산연(PZT)압전박막현비량작위구동궤리적500 μm×500 μm미경결구.해미경주요유4개현비량여1개반사경조성,4개현비량기지탱미경적작용,즉미경주요이용미현비량자유단두적소뇨도래실현수직방향적위이.제출료여호보금속양화물반도체(CMOS)공예상겸용적제작방법,이용유한원연건ANSYS7.0대압전미경적반사경평정도、결구궤계강도、선성도、향응속도화공모등성능진행료연구,병여수치계산결과진행료비교,결과표명차미경체도료쾌속、고정도、저공모적설계요구.
