机械工程材料
機械工程材料
궤계공정재료
MATERIALS FOR MECHANICAL ENGINEERING
2007年
4期
52-54,65
,共4页
磁控溅射%MoS2/Ni复合膜%摩擦
磁控濺射%MoS2/Ni複閤膜%摩抆
자공천사%MoS2/Ni복합막%마찰
采用磁控溅射法制备了MoS2/Ni复合膜,同时对影响膜层性能的工艺参数进行了初步探讨,并对复合膜进行了成分与结构分析以及摩擦试验.结果表明:在本试验工艺参数(本底真空度为7.0×10-4 Pa,沉积气压为0.5 Pa,溅射功率为160 W,溅射氩气流量为80 cm3/s,靶基距为60 mm,基片温度为70℃)下制备的MoS2/Ni复合膜能够大大降低不锈钢等基底表面的摩擦因数,并且在高速重载的条件下具有更低的摩擦因数和更小的摩擦因数波动值.
採用磁控濺射法製備瞭MoS2/Ni複閤膜,同時對影響膜層性能的工藝參數進行瞭初步探討,併對複閤膜進行瞭成分與結構分析以及摩抆試驗.結果錶明:在本試驗工藝參數(本底真空度為7.0×10-4 Pa,沉積氣壓為0.5 Pa,濺射功率為160 W,濺射氬氣流量為80 cm3/s,靶基距為60 mm,基片溫度為70℃)下製備的MoS2/Ni複閤膜能夠大大降低不鏽鋼等基底錶麵的摩抆因數,併且在高速重載的條件下具有更低的摩抆因數和更小的摩抆因數波動值.
채용자공천사법제비료MoS2/Ni복합막,동시대영향막층성능적공예삼수진행료초보탐토,병대복합막진행료성분여결구분석이급마찰시험.결과표명:재본시험공예삼수(본저진공도위7.0×10-4 Pa,침적기압위0.5 Pa,천사공솔위160 W,천사아기류량위80 cm3/s,파기거위60 mm,기편온도위70℃)하제비적MoS2/Ni복합막능구대대강저불수강등기저표면적마찰인수,병차재고속중재적조건하구유경저적마찰인수화경소적마찰인수파동치.
