真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
6期
570-574
,共5页
吴卫东%陆晓曼%张继成%朱永红%郭强%唐永建%孙卫国
吳衛東%陸曉曼%張繼成%硃永紅%郭彊%唐永建%孫衛國
오위동%륙효만%장계성%주영홍%곽강%당영건%손위국
反应离子刻蚀%电子回旋共振微波反应等离子体%类金刚石薄膜微齿轮
反應離子刻蝕%電子迴鏇共振微波反應等離子體%類金剛石薄膜微齒輪
반응리자각식%전자회선공진미파반응등리자체%류금강석박막미치륜
为了刻蚀出图形完整、侧壁陡直、失真度小、独立的类金刚石薄膜微器件,反应离子刻蚀是一种有效地刻蚀方法.研究了氧气与氩气的混合气体进行类金刚石薄膜刻蚀的主要工艺参数(刻蚀时间、有无掩膜、氩氧体积混合比、负偏压).研究结果表明:在相同条件下,刻蚀速率随刻蚀时间变化不大;有无掩膜对刻蚀速率无明显影响;流量一定时,刻蚀速率随氩氧体积比的增大而降低,随负偏压的增大先增大后减小.实验得到最佳刻蚀条件,在此条件下,刻蚀出图形完整、侧壁陡直、失真度小的微器件,并成功制备出"独立"的微齿轮,进行了组装.
為瞭刻蝕齣圖形完整、側壁陡直、失真度小、獨立的類金剛石薄膜微器件,反應離子刻蝕是一種有效地刻蝕方法.研究瞭氧氣與氬氣的混閤氣體進行類金剛石薄膜刻蝕的主要工藝參數(刻蝕時間、有無掩膜、氬氧體積混閤比、負偏壓).研究結果錶明:在相同條件下,刻蝕速率隨刻蝕時間變化不大;有無掩膜對刻蝕速率無明顯影響;流量一定時,刻蝕速率隨氬氧體積比的增大而降低,隨負偏壓的增大先增大後減小.實驗得到最佳刻蝕條件,在此條件下,刻蝕齣圖形完整、側壁陡直、失真度小的微器件,併成功製備齣"獨立"的微齒輪,進行瞭組裝.
위료각식출도형완정、측벽두직、실진도소、독립적류금강석박막미기건,반응리자각식시일충유효지각식방법.연구료양기여아기적혼합기체진행류금강석박막각식적주요공예삼수(각식시간、유무엄막、아양체적혼합비、부편압).연구결과표명:재상동조건하,각식속솔수각식시간변화불대;유무엄막대각식속솔무명현영향;류량일정시,각식속솔수아양체적비적증대이강저,수부편압적증대선증대후감소.실험득도최가각식조건,재차조건하,각식출도형완정、측벽두직、실진도소적미기건,병성공제비출"독립"적미치륜,진행료조장.
