激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2010年
5期
708-711
,共4页
任乃飞%顾佳方%许美玲%罗艳%江杰%陈秋月
任迺飛%顧佳方%許美玲%囉豔%江傑%陳鞦月
임내비%고가방%허미령%라염%강걸%진추월
超快光学%非平衡%双温模型%金属薄膜
超快光學%非平衡%雙溫模型%金屬薄膜
초쾌광학%비평형%쌍온모형%금속박막
为了描述飞秒激光与金属薄膜相互作用过程中的非平衡传热现象,采用有限差分的方法对金属薄膜内的温度场进行了1维数值模拟.对双温模型中电子-晶格耦合系数G、激光脉宽和电子的弹道运动等因素对金属薄膜表层电子和晶格温度的影响进行了理论分析.结果表明,G影响材料表面电子的温升,电子和晶格温度平衡时的延迟时间随着G的增大而减小,二者呈指数变化关系.这一结果对改善半导体元件中薄膜的温升是有帮助的.
為瞭描述飛秒激光與金屬薄膜相互作用過程中的非平衡傳熱現象,採用有限差分的方法對金屬薄膜內的溫度場進行瞭1維數值模擬.對雙溫模型中電子-晶格耦閤繫數G、激光脈寬和電子的彈道運動等因素對金屬薄膜錶層電子和晶格溫度的影響進行瞭理論分析.結果錶明,G影響材料錶麵電子的溫升,電子和晶格溫度平衡時的延遲時間隨著G的增大而減小,二者呈指數變化關繫.這一結果對改善半導體元件中薄膜的溫升是有幫助的.
위료묘술비초격광여금속박막상호작용과정중적비평형전열현상,채용유한차분적방법대금속박막내적온도장진행료1유수치모의.대쌍온모형중전자-정격우합계수G、격광맥관화전자적탄도운동등인소대금속박막표층전자화정격온도적영향진행료이론분석.결과표명,G영향재료표면전자적온승,전자화정격온도평형시적연지시간수착G적증대이감소,이자정지수변화관계.저일결과대개선반도체원건중박막적온승시유방조적.
