功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
11期
1903-1906
,共4页
刘效岩%刘玉岭%梁艳%赵之雯%胡轶%赵东磊
劉效巖%劉玉嶺%樑豔%趙之雯%鬍軼%趙東磊
류효암%류옥령%량염%조지문%호질%조동뢰
纳米SiO2溶胶%化学机械抛光%表面效应%pH值%化学反应模型
納米SiO2溶膠%化學機械拋光%錶麵效應%pH值%化學反應模型
납미SiO2용효%화학궤계포광%표면효응%pH치%화학반응모형
纳米SiO2是一种性能优越的功能材料,化学机械抛光(CMP)过程的精确控制在很大程度上取决于对纳米SiO2功能的认识.但是目前对碱性纳米SiO2在CMP过程中的功能还没有完全弄清楚,探讨它在CMP中作用是提高CMP技术水平的前提.纳米SiO2溶胶的表面效应使其表面存在大量的羟基,在CMP过程中纳米SiO2表面羟基与碱反应生成硅酸负离子,硅酸负离子再与硅反应来降低纳米SiO2的表面能量,同时达到除去硅的目的.综上所述,碱性纳米SiO2在CMP的过程中不仅起到了磨料的作用,同时参加了化学反应,在此基础上提出了在碱性条件下纳米SiO2与硅的反应机理.
納米SiO2是一種性能優越的功能材料,化學機械拋光(CMP)過程的精確控製在很大程度上取決于對納米SiO2功能的認識.但是目前對堿性納米SiO2在CMP過程中的功能還沒有完全弄清楚,探討它在CMP中作用是提高CMP技術水平的前提.納米SiO2溶膠的錶麵效應使其錶麵存在大量的羥基,在CMP過程中納米SiO2錶麵羥基與堿反應生成硅痠負離子,硅痠負離子再與硅反應來降低納米SiO2的錶麵能量,同時達到除去硅的目的.綜上所述,堿性納米SiO2在CMP的過程中不僅起到瞭磨料的作用,同時參加瞭化學反應,在此基礎上提齣瞭在堿性條件下納米SiO2與硅的反應機理.
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