CAJ | 학술논문

根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理，使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中，光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层硅而成，矩形槽通过RIE刻蚀衬底硅而成。光波导两侧的矩形凹槽可方便光纤接人以及对出射光的探测，从而提高了光波导微腔耦合系统的稳定性。
근거추형광섬여평면배형미강우합원리，사용L-Edit판도설계연건설계병우화료추형광파도여미강우합계통。이용MEMS공예대SOI원정편진행가공,종이실현료추형광파도여포도형이급배형광파도미강적집성。기중，광파도이급미강통과ICP각식정층규이성，구형조통과RIE각식츤저규이성。광파도량측적구형요조가방편광섬접인이급대출사광적탐측，종이제고료광파도미강우합계통적은정성。