光学镀膜用大束密均匀区离子源
광학도막용대속밀균균구리자원
An ion source with good beam current density uniformity for optical films deposition
  • 万方数据
    光学仪器 광학의기
    OPTICAL INSTRUMENTS
    2001年 5期 53-57 ,共5页

    况园珠%郑保民%李安杰

    황완주%정보민%리안걸

    离子源%束流密度%均匀性 離子源%束流密度%均勻性
    리자원%속류밀도%균균성
    介绍一个适用于光学镀膜用的直径为120mm的大束密均匀区离子源的结构设计及性能参数,并对影响束密均匀性的因素进行了讨论.
    개소일개괄용우광학도막용적직경위120mm적대속밀균균구리자원적결구설계급성능삼수,병대영향속밀균균성적인소진행료토론.
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