金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2000年
11期
1187-1191
,共5页
Cu薄膜%离子注入%Cr%氧化
Cu薄膜%離子註入%Cr%氧化
Cu박막%리자주입%Cr%양화
研究了用强流金属蒸汽弧离子源(MEVVA源)注入Cr对Cu薄膜的抗氧化性能、导电性能和氧化特征的影响.利用X射线衍射、Rutherford背散射和扫描电镜研究了离子注入前后氧化物结构和氧化物形态演变.结果表明,在薄膜的表面层注入一定剂量的Cr能有效地改善Cu薄膜的抗氧化性能,而对薄膜的电导性能无显著影响;离子注入显著影响薄膜表面氧化铜的结构和形态.探讨了离子注入对氧化铜结构和形态的影响机理.
研究瞭用彊流金屬蒸汽弧離子源(MEVVA源)註入Cr對Cu薄膜的抗氧化性能、導電性能和氧化特徵的影響.利用X射線衍射、Rutherford揹散射和掃描電鏡研究瞭離子註入前後氧化物結構和氧化物形態縯變.結果錶明,在薄膜的錶麵層註入一定劑量的Cr能有效地改善Cu薄膜的抗氧化性能,而對薄膜的電導性能無顯著影響;離子註入顯著影響薄膜錶麵氧化銅的結構和形態.探討瞭離子註入對氧化銅結構和形態的影響機理.
연구료용강류금속증기호리자원(MEVVA원)주입Cr대Cu박막적항양화성능、도전성능화양화특정적영향.이용X사선연사、Rutherford배산사화소묘전경연구료리자주입전후양화물결구화양화물형태연변.결과표명,재박막적표면층주입일정제량적Cr능유효지개선Cu박막적항양화성능,이대박막적전도성능무현저영향;리자주입현저영향박막표면양화동적결구화형태.탐토료리자주입대양화동결구화형태적영향궤리.
