功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2004年
3期
289-293
,共5页
杜文娟%陆维%郑萍%孟中岩
杜文娟%陸維%鄭萍%孟中巖
두문연%륙유%정평%맹중암
PZT薄膜%LNO电极%电性能%疲劳%Pt电极
PZT薄膜%LNO電極%電性能%疲勞%Pt電極
PZT박막%LNO전겁%전성능%피로%Pt전겁
采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si电极上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电薄膜.研究了不同电极材料对PZT铁电薄膜的微结构及电性能的影响.(100)择优取向的PZT/LNO薄膜的介电性能和铁电性能较(111)/(100)取向的PZT/Pt薄膜略有下降,但在抗疲劳特性和漏电流特性方面都有了很大提高.PZT/LNO薄膜1010次极化反转后剩余极化几乎保持未变,直至1012次反转后,剩余极化仅下降了17%.
採用溶膠-凝膠(sol-gel)工藝分彆在Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si電極上製備Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)鐵電薄膜.研究瞭不同電極材料對PZT鐵電薄膜的微結構及電性能的影響.(100)擇優取嚮的PZT/LNO薄膜的介電性能和鐵電性能較(111)/(100)取嚮的PZT/Pt薄膜略有下降,但在抗疲勞特性和漏電流特性方麵都有瞭很大提高.PZT/LNO薄膜1010次極化反轉後剩餘極化幾乎保持未變,直至1012次反轉後,剩餘極化僅下降瞭17%.
채용용효-응효(sol-gel)공예분별재Pt/Ti/SiO2/Si화LNO/Si전겁상제비Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)철전박막.연구료불동전겁재료대PZT철전박막적미결구급전성능적영향.(100)택우취향적PZT/LNO박막적개전성능화철전성능교(111)/(100)취향적PZT/Pt박막략유하강,단재항피로특성화루전류특성방면도유료흔대제고.PZT/LNO박막1010차겁화반전후잉여겁화궤호보지미변,직지1012차반전후,잉여겁화부하강료17%.
