微加热板式半导体微气压传感器的测试
미가열판식반도체미기압전감기적측시
Test for micro air pressure semiconductor sensor based on micro-hotplate
  • 万方数据
    传感器技术 전감기기술
    JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
    2004年 8期 55-57 ,共3页

    郭文泰%金仁成%王海霞%高仁璟%张凤田%余俊%于耀东%张天超

    곽문태%금인성%왕해하%고인경%장봉전%여준%우요동%장천초

    微加热板式半导体传感器%微气压%测试 微加熱闆式半導體傳感器%微氣壓%測試
    미가열판식반도체전감기%미기압%측시
    组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统.该系统主要由真空装置和信号采集系统两部分组成.该系统为半导体微气压传感器的研制提供了实验平台,利用该系统对一种微加热板式传感器的微气压特性进行了实验测试及分析.
    조건료일투용우반도체미기압전감기적측시계통.해계통주요유진공장치화신호채집계통량부분조성.해계통위반도체미기압전감기적연제제공료실험평태,이용해계통대일충미가열판식전감기적미기압특성진행료실험측시급분석.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문