光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2005年
2期
171-178
,共8页
节德刚%刘延杰%孙立宁%孙绍云%蔡鹤皋
節德剛%劉延傑%孫立寧%孫紹雲%蔡鶴皋
절덕강%류연걸%손립저%손소운%채학고
宏微双重驱动%精密定位%建模%控制策略
宏微雙重驅動%精密定位%建模%控製策略
굉미쌍중구동%정밀정위%건모%공제책략
提出一种宏微双重驱动精密定位机构,采用高性能直线电机直接驱动宏动平台,实现系统大行程微米级精度定位;安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台,实现纳米级的分辨率和定位精度,以高频响动态补偿系统的定位误差;采用精密光栅尺反馈微动平台输出端的位置信号,实现定位机构的全闭环反馈控制.在分别建立宏动、微动、宏微机构模型的基础上,提出复合型宏动控制和模糊自校正PID微动控制的宏微控制策略.实验研究表明:系统的动态和稳态性能良好,该定位机构的最大工作行程100 mm,稳定时间小于40 ms,重复定位精度10 nm.
提齣一種宏微雙重驅動精密定位機構,採用高性能直線電機直接驅動宏動平檯,實現繫統大行程微米級精度定位;安裝在宏動平檯上的壓電陶瓷驅動微動平檯,實現納米級的分辨率和定位精度,以高頻響動態補償繫統的定位誤差;採用精密光柵呎反饋微動平檯輸齣耑的位置信號,實現定位機構的全閉環反饋控製.在分彆建立宏動、微動、宏微機構模型的基礎上,提齣複閤型宏動控製和模糊自校正PID微動控製的宏微控製策略.實驗研究錶明:繫統的動態和穩態性能良好,該定位機構的最大工作行程100 mm,穩定時間小于40 ms,重複定位精度10 nm.
제출일충굉미쌍중구동정밀정위궤구,채용고성능직선전궤직접구동굉동평태,실현계통대행정미미급정도정위;안장재굉동평태상적압전도자구동미동평태,실현납미급적분변솔화정위정도,이고빈향동태보상계통적정위오차;채용정밀광책척반궤미동평태수출단적위치신호,실현정위궤구적전폐배반궤공제.재분별건립굉동、미동、굉미궤구모형적기출상,제출복합형굉동공제화모호자교정PID미동공제적굉미공제책략.실험연구표명:계통적동태화은태성능량호,해정위궤구적최대공작행정100 mm,은정시간소우40 ms,중복정위정도10 nm.
