低温物理学报
低溫物理學報
저온물이학보
CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
2005年
3期
207-210
,共4页
陈亚军%康琳%蔡卫星%施建荣%赵少奇%吉争鸣%吴培亨
陳亞軍%康琳%蔡衛星%施建榮%趙少奇%吉爭鳴%吳培亨
진아군%강림%채위성%시건영%조소기%길쟁명%오배형
NbN%AlN%磁控溅射%XRD%c轴取向
NbN%AlN%磁控濺射%XRD%c軸取嚮
NbN%AlN%자공천사%XRD%c축취향
在制备NbN/AlN/NbN隧道结的工艺过程中,为了获得具有优质单晶结构的NbN薄膜,我们在MgO(111)基片上探索了直流溅射法制备NbN薄膜的生长工艺条件,XRD研究分析表明,我们获得了单晶结构良好的NbN薄膜;为了支持作为上电极的NbN薄膜的生长,也需要良好的AlN薄膜用作势垒层,我们采用射频磁控溅射设备和纯净的Al靶对AlN薄膜进行了制备研究.实验结果表明,所获得的AlN薄膜具有六方c-轴取向,并讨论了衬底和薄膜界面处可能的结构情况.
在製備NbN/AlN/NbN隧道結的工藝過程中,為瞭穫得具有優質單晶結構的NbN薄膜,我們在MgO(111)基片上探索瞭直流濺射法製備NbN薄膜的生長工藝條件,XRD研究分析錶明,我們穫得瞭單晶結構良好的NbN薄膜;為瞭支持作為上電極的NbN薄膜的生長,也需要良好的AlN薄膜用作勢壘層,我們採用射頻磁控濺射設備和純淨的Al靶對AlN薄膜進行瞭製備研究.實驗結果錶明,所穫得的AlN薄膜具有六方c-軸取嚮,併討論瞭襯底和薄膜界麵處可能的結構情況.
재제비NbN/AlN/NbN수도결적공예과정중,위료획득구유우질단정결구적NbN박막,아문재MgO(111)기편상탐색료직류천사법제비NbN박막적생장공예조건,XRD연구분석표명,아문획득료단정결구량호적NbN박막;위료지지작위상전겁적NbN박막적생장,야수요량호적AlN박막용작세루층,아문채용사빈자공천사설비화순정적Al파대AlN박막진행료제비연구.실험결과표명,소획득적AlN박막구유륙방c-축취향,병토론료츤저화박막계면처가능적결구정황.
