人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
2期
377-380
,共4页
金刚石膜%硅基体%热残余应力%有限元方法
金剛石膜%硅基體%熱殘餘應力%有限元方法
금강석막%규기체%열잔여응력%유한원방법
运用ANSYS软件建立了有限元模型,对化学气相沉积在硅基体上的金刚石膜内部和膜/基交界面处的各热残余应力分量的分布作了计算与分析.所建模型与已有的一维解析模型都能得出厚度截面上的法向应力分量的分布,且吻合较好,而前者的优点在于它还能模拟切向应力和剪应力等其它应力分量,这对分析膜/基界面的粘附与失效是至关重要的.
運用ANSYS軟件建立瞭有限元模型,對化學氣相沉積在硅基體上的金剛石膜內部和膜/基交界麵處的各熱殘餘應力分量的分佈作瞭計算與分析.所建模型與已有的一維解析模型都能得齣厚度截麵上的法嚮應力分量的分佈,且吻閤較好,而前者的優點在于它還能模擬切嚮應力和剪應力等其它應力分量,這對分析膜/基界麵的粘附與失效是至關重要的.
운용ANSYS연건건립료유한원모형,대화학기상침적재규기체상적금강석막내부화막/기교계면처적각열잔여응력분량적분포작료계산여분석.소건모형여이유적일유해석모형도능득출후도절면상적법향응력분량적분포,차문합교호,이전자적우점재우타환능모의절향응력화전응력등기타응력분량,저대분석막/기계면적점부여실효시지관중요적.
