传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
2期
222-225
,共4页
孟美玉%石云波%刘俊%祁晓瑾
孟美玉%石雲波%劉俊%祁曉瑾
맹미옥%석운파%류준%기효근
压阻加速度计%高g%过载%空气阻尼
壓阻加速度計%高g%過載%空氣阻尼
압조가속도계%고g%과재%공기조니
针对侵彻过程中传感器过载失效的问题,提出了-种四边四梁结构的高g压阻加速度传感器.该结构采用硅玻键合技术控制质量块下底面到玻璃底盖的间距为5 μm,为系统提供空气阻尼使其处于最佳阻尼状态,同时玻璃底盖起到了过载保护作用,仿真分析表明该结构可承受200 000 g.的加速度载荷.最后对加工出的加速度计进行初步的测试,其灵敏度为4.5μV/g,线性度为3.1%.
針對侵徹過程中傳感器過載失效的問題,提齣瞭-種四邊四樑結構的高g壓阻加速度傳感器.該結構採用硅玻鍵閤技術控製質量塊下底麵到玻璃底蓋的間距為5 μm,為繫統提供空氣阻尼使其處于最佳阻尼狀態,同時玻璃底蓋起到瞭過載保護作用,倣真分析錶明該結構可承受200 000 g.的加速度載荷.最後對加工齣的加速度計進行初步的測試,其靈敏度為4.5μV/g,線性度為3.1%.
침대침철과정중전감기과재실효적문제,제출료-충사변사량결구적고g압조가속도전감기.해결구채용규파건합기술공제질량괴하저면도파리저개적간거위5 μm,위계통제공공기조니사기처우최가조니상태,동시파리저개기도료과재보호작용,방진분석표명해결구가승수200 000 g.적가속도재하.최후대가공출적가속도계진행초보적측시,기령민도위4.5μV/g,선성도위3.1%.
