传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
1期
61-63,66
,共4页
WO3薄膜%溶胶-凝胶%CNT掺杂%丙酮敏
WO3薄膜%溶膠-凝膠%CNT摻雜%丙酮敏
WO3박막%용효-응효%CNT참잡%병동민
研究以碳纳米管(CNT)为掺杂剂制备的CNT-WO3旁热式气敏元件.采用球磨、超声分散的方法对碳纳米管进行分散处理,溶胶-凝胶方法制备WO3微粉,用SEM观察了WO3气敏材料的显微结构,测试了元件对丙酮的气敏性能.结果表明:碳纳米管存在于平均粒径为30～50nm 的WO3晶粒间,从而增加了材料的气孔率.碳纳米管掺杂元件对丙酮的灵敏度远高于纯WO3元件,质量分数为0.4%的掺杂量对丙酮有最高灵敏度,具有能检测低体积分数丙酮气体、选择性好的优点,特别是掺杂碳纳米管明显提高了WO3元件的响应速度.
研究以碳納米管(CNT)為摻雜劑製備的CNT-WO3徬熱式氣敏元件.採用毬磨、超聲分散的方法對碳納米管進行分散處理,溶膠-凝膠方法製備WO3微粉,用SEM觀察瞭WO3氣敏材料的顯微結構,測試瞭元件對丙酮的氣敏性能.結果錶明:碳納米管存在于平均粒徑為30～50nm 的WO3晶粒間,從而增加瞭材料的氣孔率.碳納米管摻雜元件對丙酮的靈敏度遠高于純WO3元件,質量分數為0.4%的摻雜量對丙酮有最高靈敏度,具有能檢測低體積分數丙酮氣體、選擇性好的優點,特彆是摻雜碳納米管明顯提高瞭WO3元件的響應速度.
연구이탄납미관(CNT)위참잡제제비적CNT-WO3방열식기민원건.채용구마、초성분산적방법대탄납미관진행분산처리,용효-응효방법제비WO3미분,용SEM관찰료WO3기민재료적현미결구,측시료원건대병동적기민성능.결과표명:탄납미관존재우평균립경위30～50nm 적WO3정립간,종이증가료재료적기공솔.탄납미관참잡원건대병동적령민도원고우순WO3원건,질량분수위0.4%적참잡량대병동유최고령민도,구유능검측저체적분수병동기체、선택성호적우점,특별시참잡탄납미관명현제고료WO3원건적향응속도.
