传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2009年
2期
151-154
,共4页
沈修成%刘景全%王亚军%郭忠元%芮岳峰
瀋脩成%劉景全%王亞軍%郭忠元%芮嶽峰
침수성%류경전%왕아군%곽충원%예악봉
MEMS%微针%电镀%异平面%药物投送
MEMS%微針%電鍍%異平麵%藥物投送
MEMS%미침%전도%이평면%약물투송
MEMS微针的一个重要应用是透皮给药.文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针.该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥.从背面开出微流道并去除残余硅,就得到了倾斜角度为70.6°的异平面金属空心微针.最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型,验证了微针具有足够的强度.
MEMS微針的一箇重要應用是透皮給藥.文中提齣瞭一種基于MEMS技術的異平麵空心金屬微針.該微針首先利用硅(100)麵刻蝕技術在硅片上刻蝕齣深度為330μm的倒四稜錐,然後採用電鍍技術電鍍齣壁厚為50μm的空心金屬倒四稜錐.從揹麵開齣微流道併去除殘餘硅,就得到瞭傾斜角度為70.6°的異平麵金屬空心微針.最後採用ANSYS有限元倣真軟件建立微針模型,驗證瞭微針具有足夠的彊度.
MEMS미침적일개중요응용시투피급약.문중제출료일충기우MEMS기술적이평면공심금속미침.해미침수선이용규(100)면각식기술재규편상각식출심도위330μm적도사릉추,연후채용전도기술전도출벽후위50μm적공심금속도사릉추.종배면개출미류도병거제잔여규,취득도료경사각도위70.6°적이평면금속공심미침.최후채용ANSYS유한원방진연건건립미침모형,험증료미침구유족구적강도.
