真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2010年
6期
66-67,73
,共3页
微波器件%排气设备%测温系统%温差电偶
微波器件%排氣設備%測溫繫統%溫差電偶
미파기건%배기설비%측온계통%온차전우
通过分析真空微波器件和排气台经常出现的高温(550℃)漏气的现象,发现现有排气台烘箱测温系统存在问题.从理论上对这一问题进行了分析,并在实验上验证了这一分析.理论和实验表明,随着温度的升高,现有排气台烘箱显示温度与真实温度相差增大.真实温度比最高显示温度高71℃.解决了困扰微波管排气工艺过程中高温漏气的难题.
通過分析真空微波器件和排氣檯經常齣現的高溫(550℃)漏氣的現象,髮現現有排氣檯烘箱測溫繫統存在問題.從理論上對這一問題進行瞭分析,併在實驗上驗證瞭這一分析.理論和實驗錶明,隨著溫度的升高,現有排氣檯烘箱顯示溫度與真實溫度相差增大.真實溫度比最高顯示溫度高71℃.解決瞭睏擾微波管排氣工藝過程中高溫漏氣的難題.
통과분석진공미파기건화배기태경상출현적고온(550℃)루기적현상,발현현유배기태홍상측온계통존재문제.종이론상대저일문제진행료분석,병재실험상험증료저일분석.이론화실험표명,수착온도적승고,현유배기태홍상현시온도여진실온도상차증대.진실온도비최고현시온도고71℃.해결료곤우미파관배기공예과정중고온루기적난제.
