金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2011年
6期
16-19
,共4页
姚宁%崔娜娜%鲁占灵%苏博%葛亚爽%安子凤%张兵临
姚寧%崔娜娜%魯佔靈%囌博%葛亞爽%安子鳳%張兵臨
요저%최나나%로점령%소박%갈아상%안자봉%장병림
纳米片状金刚石%生长过程%微波等离子化学气相沉积
納米片狀金剛石%生長過程%微波等離子化學氣相沉積
납미편상금강석%생장과정%미파등리자화학기상침적
采用微波等离子化学气相沉积系统( MPC VD)在镀钛的单晶硅衬底上制备纳米金刚石薄膜.反应气体为CH4和H2,其流量比为1:1,微波功率为1 800 W,反应气压为10 kPa.利用扫描电镜(SEM)和Raman光谱分析薄膜的形貌和碳结构.结果表明,纳米金刚石薄膜呈现片状的组织特征,其生长过程为:生长初期在单晶硅衬底上形成由纳米碳颗粒组成的球状碳团簇；随着沉积时间的增加,碳团簇逐渐增大,纳米碳颗粒定向排列或自组装,最终形成片状纳米金刚石膜.
採用微波等離子化學氣相沉積繫統( MPC VD)在鍍鈦的單晶硅襯底上製備納米金剛石薄膜.反應氣體為CH4和H2,其流量比為1:1,微波功率為1 800 W,反應氣壓為10 kPa.利用掃描電鏡(SEM)和Raman光譜分析薄膜的形貌和碳結構.結果錶明,納米金剛石薄膜呈現片狀的組織特徵,其生長過程為:生長初期在單晶硅襯底上形成由納米碳顆粒組成的毬狀碳糰簇；隨著沉積時間的增加,碳糰簇逐漸增大,納米碳顆粒定嚮排列或自組裝,最終形成片狀納米金剛石膜.
채용미파등리자화학기상침적계통( MPC VD)재도태적단정규츤저상제비납미금강석박막.반응기체위CH4화H2,기류량비위1:1,미파공솔위1 800 W,반응기압위10 kPa.이용소묘전경(SEM)화Raman광보분석박막적형모화탄결구.결과표명,납미금강석박막정현편상적조직특정,기생장과정위:생장초기재단정규츤저상형성유납미탄과립조성적구상탄단족；수착침적시간적증가,탄단족축점증대,납미탄과립정향배렬혹자조장,최종형성편상납미금강석막.
