微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2005年
2期
39-45
,共7页
马德盛%王翔%赵钢%黄文浩
馬德盛%王翔%趙鋼%黃文浩
마덕성%왕상%조강%황문호
光成型%高斯光束%光固化%固化仿真
光成型%高斯光束%光固化%固化倣真
광성형%고사광속%광고화%고화방진
在紫外光对液态树脂进行固化成型过程中,扫描光斑的直径、光强和扫描速度等工艺参数对固化结果有着直接影响.首先结合高斯光束的固化理论分析,从平面固化成型基本要素的直线段、圆弧线段的线宽、线高及其精度入手,在理论上分别得到线宽、线高与工艺参数之间的正比关系和指数关系;其次,通过Matlab的建模计算,明确了光强度和扫描速度的变化对固化线宽和线高影响程度的相近性,其中,扫描速度大于600μm/s后,随着速度的增大其产生的误差也越大,并通过实验研究验证了理论分析和建模方法的正确性.最后,通过仿真和实验对工艺参数以及扫描方式的优化,有效地解决了平面轮廓固化扫描中转向拐点处重复曝光引起的固化精度问题.
在紫外光對液態樹脂進行固化成型過程中,掃描光斑的直徑、光彊和掃描速度等工藝參數對固化結果有著直接影響.首先結閤高斯光束的固化理論分析,從平麵固化成型基本要素的直線段、圓弧線段的線寬、線高及其精度入手,在理論上分彆得到線寬、線高與工藝參數之間的正比關繫和指數關繫;其次,通過Matlab的建模計算,明確瞭光彊度和掃描速度的變化對固化線寬和線高影響程度的相近性,其中,掃描速度大于600μm/s後,隨著速度的增大其產生的誤差也越大,併通過實驗研究驗證瞭理論分析和建模方法的正確性.最後,通過倣真和實驗對工藝參數以及掃描方式的優化,有效地解決瞭平麵輪廓固化掃描中轉嚮枴點處重複曝光引起的固化精度問題.
재자외광대액태수지진행고화성형과정중,소묘광반적직경、광강화소묘속도등공예삼수대고화결과유착직접영향.수선결합고사광속적고화이론분석,종평면고화성형기본요소적직선단、원호선단적선관、선고급기정도입수,재이론상분별득도선관、선고여공예삼수지간적정비관계화지수관계;기차,통과Matlab적건모계산,명학료광강도화소묘속도적변화대고화선관화선고영향정도적상근성,기중,소묘속도대우600μm/s후,수착속도적증대기산생적오차야월대,병통과실험연구험증료이론분석화건모방법적정학성.최후,통과방진화실험대공예삼수이급소묘방식적우화,유효지해결료평면륜곽고화소묘중전향괴점처중복폭광인기적고화정도문제.