科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2008年
8期
2169-2173
,共5页
硅纳米孔柱阵列%酒敏特性%SnO2 气体传感器
硅納米孔柱陣列%酒敏特性%SnO2 氣體傳感器
규납미공주진렬%주민특성%SnO2 기체전감기
应用匀胶旋涂和退火处理的方法将纳米级SnO2和具有规则阵列结构和多孔结构的硅微米/纳米结构复合体系硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)进行很好地复合,对复合材料的电阻酒敏特性进行了测试.结果表明,SnO2/Si-NPA与Si-NPA相比对酒精具有更高的灵敏度和更好的长期稳定性SnO2/Si-NPA良好的酒精敏感性能被归因于复合薄膜材料既保持了衬底材料独特的微纳双重结构,又保证了SnO2能够发挥其在传感方面的作用,即高灵敏度来自干其巨大的比表面积对酒精分子的物理吸附和材料对酒精分子化学吸附.通过工艺条件的进一步改进以及气体标定系统和信号检出系统进行配套设计与优化,可望开发出性能优异的酒敏传感元件.
應用勻膠鏇塗和退火處理的方法將納米級SnO2和具有規則陣列結構和多孔結構的硅微米/納米結構複閤體繫硅納米孔柱陣列(Si-NPA)進行很好地複閤,對複閤材料的電阻酒敏特性進行瞭測試.結果錶明,SnO2/Si-NPA與Si-NPA相比對酒精具有更高的靈敏度和更好的長期穩定性SnO2/Si-NPA良好的酒精敏感性能被歸因于複閤薄膜材料既保持瞭襯底材料獨特的微納雙重結構,又保證瞭SnO2能夠髮揮其在傳感方麵的作用,即高靈敏度來自榦其巨大的比錶麵積對酒精分子的物理吸附和材料對酒精分子化學吸附.通過工藝條件的進一步改進以及氣體標定繫統和信號檢齣繫統進行配套設計與優化,可望開髮齣性能優異的酒敏傳感元件.
응용균효선도화퇴화처리적방법장납미급SnO2화구유규칙진렬결구화다공결구적규미미/납미결구복합체계규납미공주진렬(Si-NPA)진행흔호지복합,대복합재료적전조주민특성진행료측시.결과표명,SnO2/Si-NPA여Si-NPA상비대주정구유경고적령민도화경호적장기은정성SnO2/Si-NPA량호적주정민감성능피귀인우복합박막재료기보지료츤저재료독특적미납쌍중결구,우보증료SnO2능구발휘기재전감방면적작용,즉고령민도래자간기거대적비표면적대주정분자적물리흡부화재료대주정분자화학흡부.통과공예조건적진일보개진이급기체표정계통화신호검출계통진행배투설계여우화,가망개발출성능우이적주민전감원건.
