光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2008年
12期
2478-2481
,共4页
杨春秀%闫金良%孙学卿%李科伟%李俊
楊春秀%閆金良%孫學卿%李科偉%李俊
양춘수%염금량%손학경%리과위%리준
溶胶-凝胶法%ZnO:Al薄膜%热处理%晶体结构%光致发光
溶膠-凝膠法%ZnO:Al薄膜%熱處理%晶體結構%光緻髮光
용효-응효법%ZnO:Al박막%열처리%정체결구%광치발광
利用溶胶-凝胶技术在玻璃衬底上制备了ZnO:Al薄膜,表征了薄膜的结构、光透过和光致发光特性,探讨了热处理温度对薄膜晶体结构和光学性质的影响.结果表明,在热分解温度400 ℃和退火温度600 ℃时,ZnO:Al薄膜的C轴择优取向明显,透过率较高.在热处理温度400 ℃情况下,激发波长340 nm的光致发光谱中有三个发光中心,紫外发光强度随退火温度的升高先升高后下降,500 ℃时发光强度最强.其它两个发光峰的强度随退火温度的升高而降低甚至消失.激发波长不同,ZnO:Al薄膜的发光中心和强度均发生变化.
利用溶膠-凝膠技術在玻璃襯底上製備瞭ZnO:Al薄膜,錶徵瞭薄膜的結構、光透過和光緻髮光特性,探討瞭熱處理溫度對薄膜晶體結構和光學性質的影響.結果錶明,在熱分解溫度400 ℃和退火溫度600 ℃時,ZnO:Al薄膜的C軸擇優取嚮明顯,透過率較高.在熱處理溫度400 ℃情況下,激髮波長340 nm的光緻髮光譜中有三箇髮光中心,紫外髮光彊度隨退火溫度的升高先升高後下降,500 ℃時髮光彊度最彊.其它兩箇髮光峰的彊度隨退火溫度的升高而降低甚至消失.激髮波長不同,ZnO:Al薄膜的髮光中心和彊度均髮生變化.
이용용효-응효기술재파리츤저상제비료ZnO:Al박막,표정료박막적결구、광투과화광치발광특성,탐토료열처리온도대박막정체결구화광학성질적영향.결과표명,재열분해온도400 ℃화퇴화온도600 ℃시,ZnO:Al박막적C축택우취향명현,투과솔교고.재열처리온도400 ℃정황하,격발파장340 nm적광치발광보중유삼개발광중심,자외발광강도수퇴화온도적승고선승고후하강,500 ℃시발광강도최강.기타량개발광봉적강도수퇴화온도적승고이강저심지소실.격발파장불동,ZnO:Al박막적발광중심화강도균발생변화.
