大连理工大学学报
大連理工大學學報
대련리공대학학보
JOURNAL OF DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2010年
6期
850-853
,共4页
薄膜生长%Monte Carlo模型%岛形貌%能量参数
薄膜生長%Monte Carlo模型%島形貌%能量參數
박막생장%Monte Carlo모형%도형모%능량삼수
用Monte Carlo模型模拟了亚单层薄膜在四方形基底上的生长过程.研究了在薄膜生长初期岛的形貌与周围原子作用之间的关系,及扩散原子周围不同位置处原子的势能参数对薄膜生长的影响.计算结果表明,扩散过程中,吸附原子受最近邻位置处原子作用的势能变化影响较大,而受次近邻位置处原子作用的势能变化影响较小;降低扩散原子最近邻位置处的能量参数,相当于升高了基底的温度.
用Monte Carlo模型模擬瞭亞單層薄膜在四方形基底上的生長過程.研究瞭在薄膜生長初期島的形貌與週圍原子作用之間的關繫,及擴散原子週圍不同位置處原子的勢能參數對薄膜生長的影響.計算結果錶明,擴散過程中,吸附原子受最近鄰位置處原子作用的勢能變化影響較大,而受次近鄰位置處原子作用的勢能變化影響較小;降低擴散原子最近鄰位置處的能量參數,相噹于升高瞭基底的溫度.
용Monte Carlo모형모의료아단층박막재사방형기저상적생장과정.연구료재박막생장초기도적형모여주위원자작용지간적관계,급확산원자주위불동위치처원자적세능삼수대박막생장적영향.계산결과표명,확산과정중,흡부원자수최근린위치처원자작용적세능변화영향교대,이수차근린위치처원자작용적세능변화영향교소;강저확산원자최근린위치처적능량삼수,상당우승고료기저적온도.
