四氯化硅氢化生产三氯氢硅技术研究
사록화규경화생산삼록경규기술연구
Research on Technique of Producing Trichlorosilane by Hydrogenation of Silicon Tetrachloride
  • 万方数据
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    ENERGY SAVING OF NON-FERROUS METALLURGY
    2010年 6期 30-32 ,共3页

    万烨%汤传斌%肖荣辉%毋克力%严大洲

    만엽%탕전빈%초영휘%무극력%엄대주

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    改良西门子法制备多晶硅存在的技术瓶颈是大量副产物四氯化硅难以回收利用.本文针对这一瓶颈,介绍了四氯化硅氢化生产三氯氢硅技术,并研究了反应压力、氢气与四氯化硅配比、反应温度以及硅粉层高度对该技术转化率的影响.同时,还介绍了该技术在洛阳中硅高科技有限公司的应用实例.
    개량서문자법제비다정규존재적기술병경시대량부산물사록화규난이회수이용.본문침대저일병경,개소료사록화규경화생산삼록경규기술,병연구료반응압력、경기여사록화규배비、반응온도이급규분층고도대해기술전화솔적영향.동시,환개소료해기술재락양중규고과기유한공사적응용실례.
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