真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
3期
254-258
,共5页
TiO2薄膜%溅射功率%退火%光催化%亚甲基兰
TiO2薄膜%濺射功率%退火%光催化%亞甲基蘭
TiO2박막%천사공솔%퇴화%광최화%아갑기란
采用射频磁控溅射法,在室温和不同功率条件下,在soda-lime玻璃衬底上成功制备出TiO2薄膜.运用X射线衍射(XRD)仪、能谱仪、拉曼(Raman)光谱仪、PL光谱、紫外-可见(UV-VIS)分光光度计等对样品进行了表征分析.分析结果表明:当溅射功率小于100 W时,在soda-lime玻璃衬底上制备的TiO2薄膜为无定形结构.当溅射功率大于等于150 W时,所得TiO2薄膜中出现锐钛矿结构.在本实验中,随溅射功率的增加,TiO2薄膜的结晶越好,晶粒的粒径不断增大且沿(101)取向生长.当在氧气气氛中500℃退火2 h后,制备的TiO2薄膜中锐钛矿相晶粒尺寸增加了17%.在本实验条件下,随着溅射功率的增加,薄膜厚度明显增加,薄膜厚度与溅射功率基本成线性关系.通过光催化降解实验得出,所得到的纳米TiO2薄膜对亚甲基兰溶液具有较强的降解能力.
採用射頻磁控濺射法,在室溫和不同功率條件下,在soda-lime玻璃襯底上成功製備齣TiO2薄膜.運用X射線衍射(XRD)儀、能譜儀、拉曼(Raman)光譜儀、PL光譜、紫外-可見(UV-VIS)分光光度計等對樣品進行瞭錶徵分析.分析結果錶明:噹濺射功率小于100 W時,在soda-lime玻璃襯底上製備的TiO2薄膜為無定形結構.噹濺射功率大于等于150 W時,所得TiO2薄膜中齣現銳鈦礦結構.在本實驗中,隨濺射功率的增加,TiO2薄膜的結晶越好,晶粒的粒徑不斷增大且沿(101)取嚮生長.噹在氧氣氣氛中500℃退火2 h後,製備的TiO2薄膜中銳鈦礦相晶粒呎吋增加瞭17%.在本實驗條件下,隨著濺射功率的增加,薄膜厚度明顯增加,薄膜厚度與濺射功率基本成線性關繫.通過光催化降解實驗得齣,所得到的納米TiO2薄膜對亞甲基蘭溶液具有較彊的降解能力.
채용사빈자공천사법,재실온화불동공솔조건하,재soda-lime파리츤저상성공제비출TiO2박막.운용X사선연사(XRD)의、능보의、랍만(Raman)광보의、PL광보、자외-가견(UV-VIS)분광광도계등대양품진행료표정분석.분석결과표명:당천사공솔소우100 W시,재soda-lime파리츤저상제비적TiO2박막위무정형결구.당천사공솔대우등우150 W시,소득TiO2박막중출현예태광결구.재본실험중,수천사공솔적증가,TiO2박막적결정월호,정립적립경불단증대차연(101)취향생장.당재양기기분중500℃퇴화2 h후,제비적TiO2박막중예태광상정립척촌증가료17%.재본실험조건하,수착천사공솔적증가,박막후도명현증가,박막후도여천사공솔기본성선성관계.통과광최화강해실험득출,소득도적납미TiO2박막대아갑기란용액구유교강적강해능력.
