材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2007年
3期
235-239
,共5页
无机非金属材料%射频磁控溅射%ZnO薄膜%光电响应%射频功率
無機非金屬材料%射頻磁控濺射%ZnO薄膜%光電響應%射頻功率
무궤비금속재료%사빈자공천사%ZnO박막%광전향응%사빈공솔
在ITO(In2O3:Sn)衬底上射频溅射ZnO薄膜,研究了射频溅射功率对ZnO薄膜的晶体结构,表面形貌及光学透过率的影响.结果表明,随着射频功率的提高,沿(002)方向生长的ZnO薄膜的结晶度显著增强,薄膜的表面颗粒略有减小,表面粗糙度由13.13 nm降低到5.06 nm.在300～400 nm波长范围内薄膜的光学透过率随着射频功率的增加而降低.在双层薄膜中空间内建电场的存在有助于光生电子和空穴有效地分离,使ZnO/ITO双层薄膜具有较强的光电响应能力,光电流达14μA.
在ITO(In2O3:Sn)襯底上射頻濺射ZnO薄膜,研究瞭射頻濺射功率對ZnO薄膜的晶體結構,錶麵形貌及光學透過率的影響.結果錶明,隨著射頻功率的提高,沿(002)方嚮生長的ZnO薄膜的結晶度顯著增彊,薄膜的錶麵顆粒略有減小,錶麵粗糙度由13.13 nm降低到5.06 nm.在300～400 nm波長範圍內薄膜的光學透過率隨著射頻功率的增加而降低.在雙層薄膜中空間內建電場的存在有助于光生電子和空穴有效地分離,使ZnO/ITO雙層薄膜具有較彊的光電響應能力,光電流達14μA.
재ITO(In2O3:Sn)츤저상사빈천사ZnO박막,연구료사빈천사공솔대ZnO박막적정체결구,표면형모급광학투과솔적영향.결과표명,수착사빈공솔적제고,연(002)방향생장적ZnO박막적결정도현저증강,박막적표면과립략유감소,표면조조도유13.13 nm강저도5.06 nm.재300～400 nm파장범위내박막적광학투과솔수착사빈공솔적증가이강저.재쌍층박막중공간내건전장적존재유조우광생전자화공혈유효지분리,사ZnO/ITO쌍층박막구유교강적광전향응능력,광전류체14μA.
