福州大学学报（自然科学版）
福州大學學報（自然科學版）
복주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
z1期
8-10
,共3页
吕英%庞爱锁%杨伟锋%陈厦平%朱会丽%吴正云
呂英%龐愛鎖%楊偉鋒%陳廈平%硃會麗%吳正雲
려영%방애쇄%양위봉%진하평%주회려%오정운
SiC%ICP刻蚀%工作压强%表面损伤
SiC%ICP刻蝕%工作壓彊%錶麵損傷
SiC%ICP각식%공작압강%표면손상
采用CF4/O2作为刻蚀气体,对不同工作压强下ICP刻蚀SiC材料的刻蚀速率以及随之引入的刻蚀损伤进行了研究.结果表明,随着工作压强的增加,ICP刻蚀SiC材料的速率先缓慢增加,然后急剧降低.通过XPS光电子能谱分析发现刻蚀后样品表面的F、O含量均有所增加,表面污染加剧,刻蚀引入的损伤随着工作压强的增加而增加.
採用CF4/O2作為刻蝕氣體,對不同工作壓彊下ICP刻蝕SiC材料的刻蝕速率以及隨之引入的刻蝕損傷進行瞭研究.結果錶明,隨著工作壓彊的增加,ICP刻蝕SiC材料的速率先緩慢增加,然後急劇降低.通過XPS光電子能譜分析髮現刻蝕後樣品錶麵的F、O含量均有所增加,錶麵汙染加劇,刻蝕引入的損傷隨著工作壓彊的增加而增加.
채용CF4/O2작위각식기체,대불동공작압강하ICP각식SiC재료적각식속솔이급수지인입적각식손상진행료연구.결과표명,수착공작압강적증가,ICP각식SiC재료적속솔선완만증가,연후급극강저.통과XPS광전자능보분석발현각식후양품표면적F、O함량균유소증가,표면오염가극,각식인입적손상수착공작압강적증가이증가.
