微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
1期
17-20
,共4页
色分离光栅%光刻%离子束刻蚀
色分離光柵%光刻%離子束刻蝕
색분리광책%광각%리자속각식
介绍了色分离光栅的设计原理,并对其制作工艺进行了研究.用套刻法以能量为450 eV、束流密度为80 mA/cm2、30°入射角的离子束对100 mm×100 mm石英基片进行刻蚀,制作出了周期为300 μm色分离光栅.实验测得零级次上3ω(351 nm)光的归一化衍射效率达到了91.9%.结果表明,这套工艺方法在制作高衍射效率的CSG是可行的,并且具有刻蚀图形分辨率高、侧壁较陡等优点,为进一步制作高衍射效率的色分离光栅提供了参考.
介紹瞭色分離光柵的設計原理,併對其製作工藝進行瞭研究.用套刻法以能量為450 eV、束流密度為80 mA/cm2、30°入射角的離子束對100 mm×100 mm石英基片進行刻蝕,製作齣瞭週期為300 μm色分離光柵.實驗測得零級次上3ω(351 nm)光的歸一化衍射效率達到瞭91.9%.結果錶明,這套工藝方法在製作高衍射效率的CSG是可行的,併且具有刻蝕圖形分辨率高、側壁較陡等優點,為進一步製作高衍射效率的色分離光柵提供瞭參攷.
개소료색분리광책적설계원리,병대기제작공예진행료연구.용투각법이능량위450 eV、속류밀도위80 mA/cm2、30°입사각적리자속대100 mm×100 mm석영기편진행각식,제작출료주기위300 μm색분리광책.실험측득령급차상3ω(351 nm)광적귀일화연사효솔체도료91.9%.결과표명,저투공예방법재제작고연사효솔적CSG시가행적,병차구유각식도형분변솔고、측벽교두등우점,위진일보제작고연사효솔적색분리광책제공료삼고.
