八臂梁硅微加速度计横向灵敏度仿真分析
팔비량규미가속도계횡향령민도방진분석
Simulation and Analysis of Cross Sensitivity of Eight-cantilever Silicon Micro Accelerometer
  • 万方数据
    弹箭与制导学报 탄전여제도학보
    JOURNAL OF PROJECTILES, ROCKETS, MISSILES AND GUIDANCE
    2008年 4期 295-297 ,共3页

    满仲鹏%陈智刚%岳连永

    만중붕%진지강%악련영

    MEMS%硅微加速度计%加速度%仿真 MEMS%硅微加速度計%加速度%倣真
    MEMS%규미가속도계%가속도%방진
    应用ANSYS软件对MEMS器件--八悬臂梁硅微加速度计的横向灵敏度进行了仿真.仿真时分别在此器件的X轴、Y轴、Z轴单独加一个加速度,分析另外两个轴的输出,便可以得出其横向灵敏度.依据仿真结果,可先求出各个输出轴对应的梁的应力,即可算出其电阻的变化量,从而计算出输出轴的输出电压.
    응용ANSYS연건대MEMS기건--팔현비량규미가속도계적횡향령민도진행료방진.방진시분별재차기건적X축、Y축、Z축단독가일개가속도,분석령외량개축적수출,편가이득출기횡향령민도.의거방진결과,가선구출각개수출축대응적량적응력,즉가산출기전조적변화량,종이계산출수출축적수출전압.
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