邻近效应校正函数及参数确定
린근효응교정함수급삼수학정
Determination of Proximity Effect Correction Function and Its parameters
  • 万方数据
    微细加工技术 미세가공기술
    MICROFABRICATION TECHNOLOGY
    2001年 4期 21-25,5 ,共6页

    覃志国%刘志杰

    담지국%류지걸

    高斯圆束%矢量扫描%邻近效应%背散射%前散射%临界剂量 高斯圓束%矢量掃描%鄰近效應%揹散射%前散射%臨界劑量
    고사원속%시량소묘%린근효응%배산사%전산사%림계제량
    对高斯圆束矢量扫描作图邻近效应校正的函数进行了深入探讨,并在此基础上确定了函数中的各参数的算法.
    대고사원속시량소묘작도린근효응교정적함수진행료심입탐토,병재차기출상학정료함수중적각삼수적산법.
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