微处理机
微處理機
미처리궤
MICROPROCESSORS
2012年
3期
7-10,16
,共5页
硅片%缺陷检测%湿法清洗%污染物%兆声波
硅片%缺陷檢測%濕法清洗%汙染物%兆聲波
규편%결함검측%습법청세%오염물%조성파
主要阐述了硅片表面沾污测试技术中的一些重要研究进展,同时介绍了几种常见的硅片清洗方法,并对各方法的优点及适用性进行介绍.
主要闡述瞭硅片錶麵霑汙測試技術中的一些重要研究進展,同時介紹瞭幾種常見的硅片清洗方法,併對各方法的優點及適用性進行介紹.
주요천술료규편표면첨오측시기술중적일사중요연구진전,동시개소료궤충상견적규편청세방법,병대각방법적우점급괄용성진행개소.
