材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
12期
105-108
,共4页
TiAlN%N2气压%基体负偏压%硬度%摩擦学
TiAlN%N2氣壓%基體負偏壓%硬度%摩抆學
TiAlN%N2기압%기체부편압%경도%마찰학
采用真空阴极电弧制备了TiAlN涂层,研究了N2气压和基体负偏压对涂层硬度的影响规律,分析了涂层的致硬机理,探讨了硬度对摩擦学性能的影响.结果表明,N2降低入射离子能量,降低增原子扩散,导致晶粒细化；基体负偏压增大入射离子能量,导致涂层致密化并依次出现(200)、(111)、(220)、(200)择优取向.TiAlN涂层的硬度受Ti、Al、N原子间键能,生长面择优取向及晶粒显微组织的影响.其中最薄弱因素起决定作用.摩擦学性能研究表明,高硬度TiAlN涂层易形成磨粒磨损,摩擦系数和磨损率高；低硬度TiAlN涂层易发生粘着磨损,摩擦系数和磨损率低.
採用真空陰極電弧製備瞭TiAlN塗層,研究瞭N2氣壓和基體負偏壓對塗層硬度的影響規律,分析瞭塗層的緻硬機理,探討瞭硬度對摩抆學性能的影響.結果錶明,N2降低入射離子能量,降低增原子擴散,導緻晶粒細化；基體負偏壓增大入射離子能量,導緻塗層緻密化併依次齣現(200)、(111)、(220)、(200)擇優取嚮.TiAlN塗層的硬度受Ti、Al、N原子間鍵能,生長麵擇優取嚮及晶粒顯微組織的影響.其中最薄弱因素起決定作用.摩抆學性能研究錶明,高硬度TiAlN塗層易形成磨粒磨損,摩抆繫數和磨損率高；低硬度TiAlN塗層易髮生粘著磨損,摩抆繫數和磨損率低.
채용진공음겁전호제비료TiAlN도층,연구료N2기압화기체부편압대도층경도적영향규률,분석료도층적치경궤리,탐토료경도대마찰학성능적영향.결과표명,N2강저입사리자능량,강저증원자확산,도치정립세화；기체부편압증대입사리자능량,도치도층치밀화병의차출현(200)、(111)、(220)、(200)택우취향.TiAlN도층적경도수Ti、Al、N원자간건능,생장면택우취향급정립현미조직적영향.기중최박약인소기결정작용.마찰학성능연구표명,고경도TiAlN도층역형성마립마손,마찰계수화마손솔고；저경도TiAlN도층역발생점착마손,마찰계수화마손솔저.
