强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
12期
3193-3196
,共4页
闫锋涛%范斌%侯溪%伍凡
閆鋒濤%範斌%侯溪%伍凡
염봉도%범빈%후계%오범
光学检测%大口径镜面%稀疏子孔径%采样%抛光
光學檢測%大口徑鏡麵%稀疏子孔徑%採樣%拋光
광학검측%대구경경면%희소자공경%채양%포광
针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测.通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测得全口径面形进行比较.结果表明:当稀疏子孔径采样分布合理时,稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当,所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测,从而提高检测效率.
針對大口徑光學器件在拋光加工過程中子孔徑拼接檢測效率低的問題,提齣併分析瞭用稀疏子孔徑採樣法對大口徑光學器件拋光加工過程進行過程檢測.通過軟件倣真分析稀疏子孔徑不同的採樣分佈,併擬閤齣不同採樣分佈的全口徑麵形,與實際測得全口徑麵形進行比較.結果錶明:噹稀疏子孔徑採樣分佈閤理時,稀疏子孔徑採樣檢測法檢測齣的全口徑麵形與實際測量的全口徑麵形相噹,所以稀疏子孔徑採樣檢測法可以在拋光過程中進行檢測,從而提高檢測效率.
침대대구경광학기건재포광가공과정중자공경병접검측효솔저적문제,제출병분석료용희소자공경채양법대대구경광학기건포광가공과정진행과정검측.통과연건방진분석희소자공경불동적채양분포,병의합출불동채양분포적전구경면형,여실제측득전구경면형진행비교.결과표명:당희소자공경채양분포합리시,희소자공경채양검측법검측출적전구경면형여실제측량적전구경면형상당,소이희소자공경채양검측법가이재포광과정중진행검측,종이제고검측효솔.
