光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2005年
3期
82-84,92
,共4页
精密工作台%控制系统%柔性铰链%压电陶瓷驱动器
精密工作檯%控製繫統%柔性鉸鏈%壓電陶瓷驅動器
정밀공작태%공제계통%유성교련%압전도자구동기
研制了一种六维宏微位移可控精密工作台.设计中采用粗精分离的原则,有利于提高工作台的精度,并减小了研制难度.宏位移使用精密燕尾导轨结构.微定位系统使用了压电陶瓷驱动器、柔性铰链和计算机控制,使系统具有极高精度的补偿定位能力.该工作台可在100mm范围内运动,平移分辨力为0.05(m,转动分辨力为0.3″.
研製瞭一種六維宏微位移可控精密工作檯.設計中採用粗精分離的原則,有利于提高工作檯的精度,併減小瞭研製難度.宏位移使用精密燕尾導軌結構.微定位繫統使用瞭壓電陶瓷驅動器、柔性鉸鏈和計算機控製,使繫統具有極高精度的補償定位能力.該工作檯可在100mm範圍內運動,平移分辨力為0.05(m,轉動分辨力為0.3″.
연제료일충륙유굉미위이가공정밀공작태.설계중채용조정분리적원칙,유리우제고공작태적정도,병감소료연제난도.굉위이사용정밀연미도궤결구.미정위계통사용료압전도자구동기、유성교련화계산궤공제,사계통구유겁고정도적보상정위능력.해공작태가재100mm범위내운동,평이분변력위0.05(m,전동분변력위0.3″.
