上海计量测试
上海計量測試
상해계량측시
SHANGHAI MEASUREMENT AND TESTING
2011年
4期
2-8
,共7页
微纳米表面%表面粗糙度%微观几何形貌%测量方法
微納米錶麵%錶麵粗糙度%微觀幾何形貌%測量方法
미납미표면%표면조조도%미관궤하형모%측량방법
概述微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性的几种测量方法和测量原理,如触针法、光学法、原子力法等,并介绍市场上在用的几类代表性表面形貌商用仪器(如粗糙度仪、轮廓仪、干涉仪、测量显微镜等)的特点、性能指标及应用范围,对微纳米级表面质量测量和评价有参考价值.
概述微納米級錶麵微觀幾何形貌和粗糙度特性的幾種測量方法和測量原理,如觸針法、光學法、原子力法等,併介紹市場上在用的幾類代錶性錶麵形貌商用儀器(如粗糙度儀、輪廓儀、榦涉儀、測量顯微鏡等)的特點、性能指標及應用範圍,對微納米級錶麵質量測量和評價有參攷價值.
개술미납미급표면미관궤하형모화조조도특성적궤충측량방법화측량원리,여촉침법、광학법、원자역법등,병개소시장상재용적궤류대표성표면형모상용의기(여조조도의、륜곽의、간섭의、측량현미경등)적특점、성능지표급응용범위,대미납미급표면질량측량화평개유삼고개치.
