光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2005年
6期
814-816
,共3页
衍射%束流分布%偏转器设计
衍射%束流分佈%偏轉器設計
연사%속류분포%편전기설계
基于波动光学理论,计算了由衍射、球差和色差三者共同作用的电子束斑电流分布,得到了电子束斑的精确信息和电子束曝光机的轴上分辨率.针对某一个具体系统的不同电子束孔径角,以偏转器的位置和相互转角为变量进行了偏转系统的优化设计;综合考虑了电子光学系统的衍射、轴上像差和偏转像差三者与光阑孔径角的不同关系.得到了光柱体的最佳总体性能,保证了电子束曝光机的高分辨率和均匀性.
基于波動光學理論,計算瞭由衍射、毬差和色差三者共同作用的電子束斑電流分佈,得到瞭電子束斑的精確信息和電子束曝光機的軸上分辨率.針對某一箇具體繫統的不同電子束孔徑角,以偏轉器的位置和相互轉角為變量進行瞭偏轉繫統的優化設計;綜閤攷慮瞭電子光學繫統的衍射、軸上像差和偏轉像差三者與光闌孔徑角的不同關繫.得到瞭光柱體的最佳總體性能,保證瞭電子束曝光機的高分辨率和均勻性.
기우파동광학이론,계산료유연사、구차화색차삼자공동작용적전자속반전류분포,득도료전자속반적정학신식화전자속폭광궤적축상분변솔.침대모일개구체계통적불동전자속공경각,이편전기적위치화상호전각위변량진행료편전계통적우화설계;종합고필료전자광학계통적연사、축상상차화편전상차삼자여광란공경각적불동관계.득도료광주체적최가총체성능,보증료전자속폭광궤적고분변솔화균균성.
