科技创新导报
科技創新導報
과기창신도보
SCIENCE AND TECHNOLOGY CONSULTING HERALD
2010年
36期
20-21,23
,共3页
低温等离子体%发射光谱%原子激发温度%分子振-转温度
低溫等離子體%髮射光譜%原子激髮溫度%分子振-轉溫度
저온등리자체%발사광보%원자격발온도%분자진-전온도
采用发射光谱法对螺旋波低温氢等离子体进行诊断,运用Rolizmann图解法分析氢原子激发态,氢分子振动、转动激发态.结果表明:随着输入射频功率增加,氢等离子体发射光谱强度增强,氢原子激发温度升高，氢分子振动激发温度降低，氢分子转动温度降低;随着气压增大,氢原子激发温度降低,氢分子振动激发温度降低,氢分子转动温度升高.
採用髮射光譜法對螺鏇波低溫氫等離子體進行診斷,運用Rolizmann圖解法分析氫原子激髮態,氫分子振動、轉動激髮態.結果錶明:隨著輸入射頻功率增加,氫等離子體髮射光譜彊度增彊,氫原子激髮溫度升高，氫分子振動激髮溫度降低，氫分子轉動溫度降低;隨著氣壓增大,氫原子激髮溫度降低,氫分子振動激髮溫度降低,氫分子轉動溫度升高.
채용발사광보법대라선파저온경등리자체진행진단,운용Rolizmann도해법분석경원자격발태,경분자진동、전동격발태.결과표명:수착수입사빈공솔증가,경등리자체발사광보강도증강,경원자격발온도승고，경분자진동격발온도강저，경분자전동온도강저;수착기압증대,경원자격발온도강저,경분자진동격발온도강저,경분자전동온도승고.
