激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2011年
2期
192-196
,共5页
王红翠%井西利%刘英杰%马毅恒%王全志%邢小宁
王紅翠%井西利%劉英傑%馬毅恆%王全誌%邢小寧
왕홍취%정서리%류영걸%마의항%왕전지%형소저
模拟退火算法%遗传算法%自适应遗传模拟退火%椭偏测量%薄膜
模擬退火算法%遺傳算法%自適應遺傳模擬退火%橢偏測量%薄膜
모의퇴화산법%유전산법%자괄응유전모의퇴화%타편측량%박막
将自适应遗传模拟退火混合算法应用于薄膜椭偏测量的反演问题中.由于模拟退火算法的基本思想是跳出局部最优解而得到全局最优解,因此将模拟退火思想引入到遗传算法,遗传算法和模拟退火算法相结合,组建自适应遗传模拟退火算法,从而综合了全局优化和局部搜索的特点,并通过模拟计算,验证了此方法在薄膜椭偏测量问题中的可行性及有效性,为解决薄膜椭偏测量的优化问题提供了新的思路.
將自適應遺傳模擬退火混閤算法應用于薄膜橢偏測量的反縯問題中.由于模擬退火算法的基本思想是跳齣跼部最優解而得到全跼最優解,因此將模擬退火思想引入到遺傳算法,遺傳算法和模擬退火算法相結閤,組建自適應遺傳模擬退火算法,從而綜閤瞭全跼優化和跼部搜索的特點,併通過模擬計算,驗證瞭此方法在薄膜橢偏測量問題中的可行性及有效性,為解決薄膜橢偏測量的優化問題提供瞭新的思路.
장자괄응유전모의퇴화혼합산법응용우박막타편측량적반연문제중.유우모의퇴화산법적기본사상시도출국부최우해이득도전국최우해,인차장모의퇴화사상인입도유전산법,유전산법화모의퇴화산법상결합,조건자괄응유전모의퇴화산법,종이종합료전국우화화국부수색적특점,병통과모의계산,험증료차방법재박막타편측량문제중적가행성급유효성,위해결박막타편측량적우화문제제공료신적사로.
