中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2006年
11期
1461-1466
,共6页
张怡霄%高福华%姚欣%李剑峰%郭永康
張怡霄%高福華%姚訢%李劍峰%郭永康
장이소%고복화%요흔%리검봉%곽영강
集成光学%衍射光学元件%惯性约束聚变驱动器%光束采样光栅%色分离光栅
集成光學%衍射光學元件%慣性約束聚變驅動器%光束採樣光柵%色分離光柵
집성광학%연사광학원건%관성약속취변구동기%광속채양광책%색분리광책
针对惯性约束聚变(ICF)驱动系统特别是其终端光学系统对元件数和元件厚度的限制要求,利用衍射光学元件(DOE)易于集成的优点,提出一种在石英基片的两面分别曝光制作色分离光栅(CSG)和光束采样光栅(BSG)的新方法,仅需一个石英片即可同时实现谐波分离和光束采样的功能.分别采用光学制版和电子束直写的方法制作了色分离光栅和光束采样光栅的掩模,并利用离子束刻蚀的方法加工了色分离光栅-光束采样光栅集成元件.结果表明,此集成元件的三倍频光能量利用率、色分离度以及采样效率等参数均与三倍频光通过色分离光栅、光束采样光栅分离元件时得到的结果相吻合,达到了惯性约束聚变激光驱动器终端光学系统的基本技术指标要求.
針對慣性約束聚變(ICF)驅動繫統特彆是其終耑光學繫統對元件數和元件厚度的限製要求,利用衍射光學元件(DOE)易于集成的優點,提齣一種在石英基片的兩麵分彆曝光製作色分離光柵(CSG)和光束採樣光柵(BSG)的新方法,僅需一箇石英片即可同時實現諧波分離和光束採樣的功能.分彆採用光學製版和電子束直寫的方法製作瞭色分離光柵和光束採樣光柵的掩模,併利用離子束刻蝕的方法加工瞭色分離光柵-光束採樣光柵集成元件.結果錶明,此集成元件的三倍頻光能量利用率、色分離度以及採樣效率等參數均與三倍頻光通過色分離光柵、光束採樣光柵分離元件時得到的結果相吻閤,達到瞭慣性約束聚變激光驅動器終耑光學繫統的基本技術指標要求.
침대관성약속취변(ICF)구동계통특별시기종단광학계통대원건수화원건후도적한제요구,이용연사광학원건(DOE)역우집성적우점,제출일충재석영기편적량면분별폭광제작색분리광책(CSG)화광속채양광책(BSG)적신방법,부수일개석영편즉가동시실현해파분리화광속채양적공능.분별채용광학제판화전자속직사적방법제작료색분리광책화광속채양광책적엄모,병이용리자속각식적방법가공료색분리광책-광속채양광책집성원건.결과표명,차집성원건적삼배빈광능량이용솔、색분리도이급채양효솔등삼수균여삼배빈광통과색분리광책、광속채양광책분리원건시득도적결과상문합,체도료관성약속취변격광구동기종단광학계통적기본기술지표요구.
