计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2009年
10期
7-9
,共3页
白光十涉仪%光栅%光通信%V型槽
白光十涉儀%光柵%光通信%V型槽
백광십섭의%광책%광통신%V형조
根据白光干涉理论,研制了水平扫描白光干涉长度测量仪.该系统主要包括水平扫描定位工作台及驱动部分、白光干涉显微镜、光栅位移传感器、CCD摄像头、计算机及其接口电路.所研制的测量系统具有1nm的精度,可用于对V型槽纤芯距测量.
根據白光榦涉理論,研製瞭水平掃描白光榦涉長度測量儀.該繫統主要包括水平掃描定位工作檯及驅動部分、白光榦涉顯微鏡、光柵位移傳感器、CCD攝像頭、計算機及其接口電路.所研製的測量繫統具有1nm的精度,可用于對V型槽纖芯距測量.
근거백광간섭이론,연제료수평소묘백광간섭장도측량의.해계통주요포괄수평소묘정위공작태급구동부분、백광간섭현미경、광책위이전감기、CCD섭상두、계산궤급기접구전로.소연제적측량계통구유1nm적정도,가용우대V형조섬심거측량.