硅酸盐通报
硅痠鹽通報
규산염통보
BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2009年
z1期
66-69
,共4页
傅宇东%闫牧夫%郭在在%王刚%刘勇
傅宇東%閆牧伕%郭在在%王剛%劉勇
부우동%염목부%곽재재%왕강%류용
磁控溅射%NdFeB薄膜%工艺参数%表面形貌
磁控濺射%NdFeB薄膜%工藝參數%錶麵形貌
자공천사%NdFeB박막%공예삼수%표면형모
本文对直流磁控溅射法制备NdFeB薄膜工艺进行了研究.采用单晶硅为基体材料,在不同的溅射功率、溅射气压、溅射时间等条件下制备薄膜.之后对薄膜进行了SEM、AFM、XRD分析结果表明,NdFeB薄膜沉积速率、表面形貌及相结构与溅射功率、溅射气压、溅射时间密切相关.并根据实验结果给出优化的NdFeB薄膜制备工艺.
本文對直流磁控濺射法製備NdFeB薄膜工藝進行瞭研究.採用單晶硅為基體材料,在不同的濺射功率、濺射氣壓、濺射時間等條件下製備薄膜.之後對薄膜進行瞭SEM、AFM、XRD分析結果錶明,NdFeB薄膜沉積速率、錶麵形貌及相結構與濺射功率、濺射氣壓、濺射時間密切相關.併根據實驗結果給齣優化的NdFeB薄膜製備工藝.
본문대직류자공천사법제비NdFeB박막공예진행료연구.채용단정규위기체재료,재불동적천사공솔、천사기압、천사시간등조건하제비박막.지후대박막진행료SEM、AFM、XRD분석결과표명,NdFeB박막침적속솔、표면형모급상결구여천사공솔、천사기압、천사시간밀절상관.병근거실험결과급출우화적NdFeB박막제비공예.
