真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2009年
1期
5-8
,共4页
王兰喜%陈学康%王瑞%曹生珠
王蘭喜%陳學康%王瑞%曹生珠
왕란희%진학강%왕서%조생주
Al0.1Ga9N薄膜%紫外探测器%陷阱效应
Al0.1Ga9N薄膜%紫外探測器%陷阱效應
Al0.1Ga9N박막%자외탐측기%함정효응
在有机金属化学气相沉积的Al0.1Ga0.9N薄膜上设计并制作了光导型的紫外探测器.测试表明在波长为345 nm光照下器件具有峰值响应度1 050 A/W,说明Al0.1Ga0.9N薄膜的禁带宽度被调至3.6 eV,与计算结果吻合.在时间响应测试中,器件表现出持续光电导(PPC)现象,这使得器件的响应时间延长,然而,器件中可能存在的陷阱效应能够降低载流子复合几率,延长载流子寿命,从而导致了器件的高响应度,这将有利于器件在静态目标的高灵敏度探测领域的应用.
在有機金屬化學氣相沉積的Al0.1Ga0.9N薄膜上設計併製作瞭光導型的紫外探測器.測試錶明在波長為345 nm光照下器件具有峰值響應度1 050 A/W,說明Al0.1Ga0.9N薄膜的禁帶寬度被調至3.6 eV,與計算結果吻閤.在時間響應測試中,器件錶現齣持續光電導(PPC)現象,這使得器件的響應時間延長,然而,器件中可能存在的陷阱效應能夠降低載流子複閤幾率,延長載流子壽命,從而導緻瞭器件的高響應度,這將有利于器件在靜態目標的高靈敏度探測領域的應用.
재유궤금속화학기상침적적Al0.1Ga0.9N박막상설계병제작료광도형적자외탐측기.측시표명재파장위345 nm광조하기건구유봉치향응도1 050 A/W,설명Al0.1Ga0.9N박막적금대관도피조지3.6 eV,여계산결과문합.재시간향응측시중,기건표현출지속광전도(PPC)현상,저사득기건적향응시간연장,연이,기건중가능존재적함정효응능구강저재류자복합궤솔,연장재류자수명,종이도치료기건적고향응도,저장유리우기건재정태목표적고령민도탐측영역적응용.
