CAJ | 학술논문

采用石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)设备制备了大面积金刚石薄膜,结合X射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和激光喇曼(Raman)谱等实验手段,较系统地研究了衬底位置对金刚石薄膜质量的影响规律.结果表明,在等离子体球内部的空间范围内,距等离子体球中心垂直距离越远衬底上所沉积的金刚石薄膜质量越好;通过调整衬底位置,可明显改善其上不同区域所沉积的金刚石薄膜质量,最后在等离子体球边缘附近可沉积出晶粒均匀一致几乎不舍非晶碳的大面积高质量金刚石薄膜.此研究为进一步改善大面积金刚石薄膜均匀性和薄膜质量提供了一种实用的途径.
채용석영종조식미파등리자체화학기상침적(MWPCVD)설비제비료대면적금강석박막,결합X사선연사보(XRD)、소묘전자현미경(SEM)화격광나만(Raman)보등실험수단,교계통지연구료츤저위치대금강석박막질량적영향규률.결과표명,재등리자체구내부적공간범위내,거등리자체구중심수직거리월원츤저상소침적적금강석박막질량월호;통과조정츤저위치,가명현개선기상불동구역소침적적금강석박막질량,최후재등리자체구변연부근가침적출정립균균일치궤호불사비정탄적대면적고질량금강석박막.차연구위진일보개선대면적금강석박막균균성화박막질량제공료일충실용적도경.