红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2008年
6期
470-474
,共5页
陈易明%张海燕%朱清锋%陈雨婷%陈列春%杨大勇
陳易明%張海燕%硃清鋒%陳雨婷%陳列春%楊大勇
진역명%장해연%주청봉%진우정%진렬춘%양대용
取向碳纳米管阵列%热丝射频等离子体复合化学气相沉积%旋涂法
取嚮碳納米管陣列%熱絲射頻等離子體複閤化學氣相沉積%鏇塗法
취향탄납미관진렬%열사사빈등리자체복합화학기상침적%선도법
采用热丝和射频等离子体复合化学气相沉积技术,用旋涂法制备负载催化剂的硅片衬底,以CH4为碳源制备出取向碳纳米管阵列薄膜.利用扫描电子显微镜对不同还原时间和不同Ni(NO3)2浓度下制备的催化剂基片和取向碳纳米管阵列薄膜进行形貌分析,用透射电子显微镜和拉曼光谱对碳纳米管进行表征.结果表明,在H2 -N2气氛中热还原后硅片上的催化剂粒径均匀,排列致密,利用该法制备的碳纳米管为竹节型多壁碳纳米管,管径分布均匀,管长约5μm.碳纳米管阵列薄膜垂直于硅片衬底生长,生长排列均匀致密,具有良好的取向性.
採用熱絲和射頻等離子體複閤化學氣相沉積技術,用鏇塗法製備負載催化劑的硅片襯底,以CH4為碳源製備齣取嚮碳納米管陣列薄膜.利用掃描電子顯微鏡對不同還原時間和不同Ni(NO3)2濃度下製備的催化劑基片和取嚮碳納米管陣列薄膜進行形貌分析,用透射電子顯微鏡和拉曼光譜對碳納米管進行錶徵.結果錶明,在H2 -N2氣氛中熱還原後硅片上的催化劑粒徑均勻,排列緻密,利用該法製備的碳納米管為竹節型多壁碳納米管,管徑分佈均勻,管長約5μm.碳納米管陣列薄膜垂直于硅片襯底生長,生長排列均勻緻密,具有良好的取嚮性.
채용열사화사빈등리자체복합화학기상침적기술,용선도법제비부재최화제적규편츤저,이CH4위탄원제비출취향탄납미관진렬박막.이용소묘전자현미경대불동환원시간화불동Ni(NO3)2농도하제비적최화제기편화취향탄납미관진렬박막진행형모분석,용투사전자현미경화랍만광보대탄납미관진행표정.결과표명,재H2 -N2기분중열환원후규편상적최화제립경균균,배렬치밀,이용해법제비적탄납미관위죽절형다벽탄납미관,관경분포균균,관장약5μm.탄납미관진렬박막수직우규편츤저생장,생장배렬균균치밀,구유량호적취향성.
