强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2008年
4期
657-660
,共4页
张军%谢二庆%谢毅柱%付玉军%邵乐喜
張軍%謝二慶%謝毅柱%付玉軍%邵樂喜
장군%사이경%사의주%부옥군%소악희
ZnO薄膜%Zn3N2薄膜%原位氧化%光致发光%衬底
ZnO薄膜%Zn3N2薄膜%原位氧化%光緻髮光%襯底
ZnO박막%Zn3N2박막%원위양화%광치발광%츤저
采用射频反应溅射法在不同衬底上制备Zn3N2薄膜,然后对其原位氧化制备ZnO薄膜.利用X射线衍射分析(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)等表征技术研究了不同衬底对ZnO薄膜的结晶特性和发光性能的影响.XRD研究结果显示:Zn3N2薄膜在500 ℃原位氧化3 h后完全转变为ZnO薄膜,在玻璃和熔融石英衬底上制备的多晶ZnO薄膜无择优取向,而单晶硅(100)衬底上的多晶ZnO薄膜具有较好的沿(002)方向的择优取向.PL测试结果显示:硅和熔融石英衬底上的多晶ZnO薄膜发光性能良好,激子复合产生的紫外发光峰很强,且半高宽较窄,而来自于深能级发射的绿色发光峰很弱;而玻璃衬底上的多晶ZnO薄膜发光性能较差.
採用射頻反應濺射法在不同襯底上製備Zn3N2薄膜,然後對其原位氧化製備ZnO薄膜.利用X射線衍射分析(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)和光緻髮光譜(PL)等錶徵技術研究瞭不同襯底對ZnO薄膜的結晶特性和髮光性能的影響.XRD研究結果顯示:Zn3N2薄膜在500 ℃原位氧化3 h後完全轉變為ZnO薄膜,在玻璃和鎔融石英襯底上製備的多晶ZnO薄膜無擇優取嚮,而單晶硅(100)襯底上的多晶ZnO薄膜具有較好的沿(002)方嚮的擇優取嚮.PL測試結果顯示:硅和鎔融石英襯底上的多晶ZnO薄膜髮光性能良好,激子複閤產生的紫外髮光峰很彊,且半高寬較窄,而來自于深能級髮射的綠色髮光峰很弱;而玻璃襯底上的多晶ZnO薄膜髮光性能較差.
채용사빈반응천사법재불동츤저상제비Zn3N2박막,연후대기원위양화제비ZnO박막.이용X사선연사분석(XRD)、소묘전자현미경(SEM)화광치발광보(PL)등표정기술연구료불동츤저대ZnO박막적결정특성화발광성능적영향.XRD연구결과현시:Zn3N2박막재500 ℃원위양화3 h후완전전변위ZnO박막,재파리화용융석영츤저상제비적다정ZnO박막무택우취향,이단정규(100)츤저상적다정ZnO박막구유교호적연(002)방향적택우취향.PL측시결과현시:규화용융석영츤저상적다정ZnO박막발광성능량호,격자복합산생적자외발광봉흔강,차반고관교착,이래자우심능급발사적록색발광봉흔약;이파리츤저상적다정ZnO박막발광성능교차.
