稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2007年
11期
1947-1950
,共4页
黄致新%章平%张玉龙%王辉%吴斌%张锋%李佐宜
黃緻新%章平%張玉龍%王輝%吳斌%張鋒%李佐宜
황치신%장평%장옥룡%왕휘%오빈%장봉%리좌의
TbCo薄膜%磁各向异性%磁控溅射%工艺参数
TbCo薄膜%磁各嚮異性%磁控濺射%工藝參數
TbCo박막%자각향이성%자공천사%공예삼수
采用射频磁控溅射法制备了TbCo非晶垂直磁化膜,并就制备工艺及参数对其磁各向异性能的影响进行了研究.结果表明:磁性层组分、溅射气压、基片偏压以及后退火温度对TbCo非晶垂直磁化膜的磁各向异性能都有不同程度的影响.当Tb含量为30%左右,或溅射气压为0.53 Pa时,TbCo薄膜的磁各向异性能Ku会呈现极大值.基片偏压超过-60V以后,TbCo薄膜Ku值开始显著上升,但超过-120 V以后,Ku值开始趋向饱和.200 ℃以上真空退火会使TbCo薄膜磁各向异性能Ku值明显下降.产生这些现象的原因与薄膜微观结构的改变有关.
採用射頻磁控濺射法製備瞭TbCo非晶垂直磁化膜,併就製備工藝及參數對其磁各嚮異性能的影響進行瞭研究.結果錶明:磁性層組分、濺射氣壓、基片偏壓以及後退火溫度對TbCo非晶垂直磁化膜的磁各嚮異性能都有不同程度的影響.噹Tb含量為30%左右,或濺射氣壓為0.53 Pa時,TbCo薄膜的磁各嚮異性能Ku會呈現極大值.基片偏壓超過-60V以後,TbCo薄膜Ku值開始顯著上升,但超過-120 V以後,Ku值開始趨嚮飽和.200 ℃以上真空退火會使TbCo薄膜磁各嚮異性能Ku值明顯下降.產生這些現象的原因與薄膜微觀結構的改變有關.
채용사빈자공천사법제비료TbCo비정수직자화막,병취제비공예급삼수대기자각향이성능적영향진행료연구.결과표명:자성층조분、천사기압、기편편압이급후퇴화온도대TbCo비정수직자화막적자각향이성능도유불동정도적영향.당Tb함량위30%좌우,혹천사기압위0.53 Pa시,TbCo박막적자각향이성능Ku회정현겁대치.기편편압초과-60V이후,TbCo박막Ku치개시현저상승,단초과-120 V이후,Ku치개시추향포화.200 ℃이상진공퇴화회사TbCo박막자각향이성능Ku치명현하강.산생저사현상적원인여박막미관결구적개변유관.
