红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2007年
6期
917-919
,共3页
陈俊%许金通%李雪%陈亮%赵德刚%李向阳
陳俊%許金通%李雪%陳亮%趙德剛%李嚮暘
진준%허금통%리설%진량%조덕강%리향양
p-i-n%GaN%光谱响应
p-i-n%GaN%光譜響應
p-i-n%GaN%광보향응
采用P-AlxGa1-xN/i-GaN/n-GaN异质结构成功制备了含铝组分分别为0.1和0.07的正照射可见盲紫外探测器,并分别测试了它们的伏安特性曲线和光电响应光谱.对于Al分为0.1的器件,在零偏压处出现了极低的暗电流密度,表明器件具有非常高的信噪比.高分辨率X射线衍射仪对材料的测试结果表明,高铝组分(0.1)窗口层薄膜材料的晶体质量较差,导致暗电流增大,而其窗口层的窗口选择作用则可以得到较高的响应率和较宽的响应波段.
採用P-AlxGa1-xN/i-GaN/n-GaN異質結構成功製備瞭含鋁組分分彆為0.1和0.07的正照射可見盲紫外探測器,併分彆測試瞭它們的伏安特性麯線和光電響應光譜.對于Al分為0.1的器件,在零偏壓處齣現瞭極低的暗電流密度,錶明器件具有非常高的信譟比.高分辨率X射線衍射儀對材料的測試結果錶明,高鋁組分(0.1)窗口層薄膜材料的晶體質量較差,導緻暗電流增大,而其窗口層的窗口選擇作用則可以得到較高的響應率和較寬的響應波段.
채용P-AlxGa1-xN/i-GaN/n-GaN이질결구성공제비료함려조분분별위0.1화0.07적정조사가견맹자외탐측기,병분별측시료타문적복안특성곡선화광전향응광보.대우Al분위0.1적기건,재령편압처출현료겁저적암전류밀도,표명기건구유비상고적신조비.고분변솔X사선연사의대재료적측시결과표명,고려조분(0.1)창구층박막재료적정체질량교차,도치암전류증대,이기창구층적창구선택작용칙가이득도교고적향응솔화교관적향응파단.
