微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
3期
18-22
,共5页
掩模移动曝光技术%接近式曝光%x-y二维精密工件台%定位精度
掩模移動曝光技術%接近式曝光%x-y二維精密工件檯%定位精度
엄모이동폭광기술%접근식폭광%x-y이유정밀공건태%정위정도
为满足掩模移动曝光技术制作微光学元件的要求,研制了接近式曝光系统中使用的x-y二维精密移动工件台.该工件台由x-y二维整体手动工作台子系统、x-y二维掩模精密移动台子系统和承片台子系统组成.利用一个方导轨和两对V形导轨组成的滚动导轨副实现了x向和y向精密移动的导向功能;利用驱动器、电机、光栅、细分卡、单片机构成的闭环控制系统保证了x和y向的运动精度;在气浮的作用下,利用掩模版靠平基片实现了调平功能;利用差动螺旋机构和1∶2杠杆缩小机构实现了间隙的调整功能.经检测,工件台在8 mm的工作行程范围内,沿x,y方向移动的直线性分别达到了4"和3",两个方向的正交性达到了10",运动定位精度达到了1.2 μm.
為滿足掩模移動曝光技術製作微光學元件的要求,研製瞭接近式曝光繫統中使用的x-y二維精密移動工件檯.該工件檯由x-y二維整體手動工作檯子繫統、x-y二維掩模精密移動檯子繫統和承片檯子繫統組成.利用一箇方導軌和兩對V形導軌組成的滾動導軌副實現瞭x嚮和y嚮精密移動的導嚮功能;利用驅動器、電機、光柵、細分卡、單片機構成的閉環控製繫統保證瞭x和y嚮的運動精度;在氣浮的作用下,利用掩模版靠平基片實現瞭調平功能;利用差動螺鏇機構和1∶2槓桿縮小機構實現瞭間隙的調整功能.經檢測,工件檯在8 mm的工作行程範圍內,沿x,y方嚮移動的直線性分彆達到瞭4"和3",兩箇方嚮的正交性達到瞭10",運動定位精度達到瞭1.2 μm.
위만족엄모이동폭광기술제작미광학원건적요구,연제료접근식폭광계통중사용적x-y이유정밀이동공건태.해공건태유x-y이유정체수동공작태자계통、x-y이유엄모정밀이동태자계통화승편태자계통조성.이용일개방도궤화량대V형도궤조성적곤동도궤부실현료x향화y향정밀이동적도향공능;이용구동기、전궤、광책、세분잡、단편궤구성적폐배공제계통보증료x화y향적운동정도;재기부적작용하,이용엄모판고평기편실현료조평공능;이용차동라선궤구화1∶2강간축소궤구실현료간극적조정공능.경검측,공건태재8 mm적공작행정범위내,연x,y방향이동적직선성분별체도료4"화3",량개방향적정교성체도료10",운동정위정도체도료1.2 μm.
