红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2007年
5期
332-335
,共4页
杜凤娟%刘毅%陶科玉%阳生红%张曰理
杜鳳娟%劉毅%陶科玉%暘生紅%張曰理
두봉연%류의%도과옥%양생홍%장왈리
铁电薄膜%椭偏光谱%拉曼光谱%BLT薄膜
鐵電薄膜%橢偏光譜%拉曼光譜%BLT薄膜
철전박막%타편광보%랍만광보%BLT박막
用化学溶液沉积法分别在Si(100)和石英玻璃衬底上成功制备了一系列Bi4-xLaxTi3O12 (BLT) 铁电薄膜;用X-射线衍射仪测量了不同退火温度和不同掺镧量的BLT薄膜的结晶情况,结果显示随着退火温度的升高BLT薄膜结晶越来越好,镧的掺入并不改变钛酸铋薄膜的钙钛矿结构;用椭偏光谱仪对不同退火温度的BLT薄膜进行了椭偏光谱测量,分析得到了薄膜的光学常数谱;用激光显微拉曼光谱仪对不同掺镧量的BLT薄膜进行激光拉曼谱测量,得到了BLT薄膜振动模式随掺镧量的变化.
用化學溶液沉積法分彆在Si(100)和石英玻璃襯底上成功製備瞭一繫列Bi4-xLaxTi3O12 (BLT) 鐵電薄膜;用X-射線衍射儀測量瞭不同退火溫度和不同摻鑭量的BLT薄膜的結晶情況,結果顯示隨著退火溫度的升高BLT薄膜結晶越來越好,鑭的摻入併不改變鈦痠鉍薄膜的鈣鈦礦結構;用橢偏光譜儀對不同退火溫度的BLT薄膜進行瞭橢偏光譜測量,分析得到瞭薄膜的光學常數譜;用激光顯微拉曼光譜儀對不同摻鑭量的BLT薄膜進行激光拉曼譜測量,得到瞭BLT薄膜振動模式隨摻鑭量的變化.
용화학용액침적법분별재Si(100)화석영파리츤저상성공제비료일계렬Bi4-xLaxTi3O12 (BLT) 철전박막;용X-사선연사의측량료불동퇴화온도화불동참란량적BLT박막적결정정황,결과현시수착퇴화온도적승고BLT박막결정월래월호,란적참입병불개변태산필박막적개태광결구;용타편광보의대불동퇴화온도적BLT박막진행료타편광보측량,분석득도료박막적광학상수보;용격광현미랍만광보의대불동참란량적BLT박막진행격광랍만보측량,득도료BLT박막진동모식수참란량적변화.